神工股份 (688233): 回答：尊敬的投资者您好，大直径硅材料分为单晶材料和多晶材料两种。 其中制造硅上下电极一般使用单晶硅材料，目前成批量生产的为14-19英寸产品。 一般来说先进制程硅片的制造所需要的刻蚀零部件越大越复杂，先进制程多用16吋以上的单晶硅材料制作零部件实现，16吋以下单晶硅材料，多用于成熟制程。 多晶硅材料一般在22英寸（含）以上，多用于制造刻蚀机腔体结构件。所以16吋以上的硅材料既包括单晶，也包括多晶。 结构件是指刻蚀机腔体里实现腔体一体化的部件，距离刻蚀中心稍远，不直接和待刻蚀硅片接触，需要的尺寸更大，以多晶质材料制造的成本较同尺寸单晶质材料难度和价格都低很多，所以更多采用多晶材料。

2024-04-29 13:24:00