盛美上海 (688082): 回答：尊敬的投资者您好！感谢您的关注。公司2023年的研发投入合计达到6.58亿元，同比增长53.95%；研发投入总额占营业收入比例达16.93%。研发投入增长的方向是现有产品改进及工艺开发、新产品及新工艺开发，如在PECVD和涂胶显影业务上积极拓展。目前，公司PECVD产品的研发取得了实质性的进展，建立了差异化技术知识产权保护，产品的应用包含存储、逻辑及特色工艺。涂胶显影Track设备已经进入客户端验证阶段，该设备采用了最新的构架设计，具备高速、高产出的特点。 公司将持续加大研发投入力度，2024年研发投入占营业收入的比例保持在15%左右。未来，公司计划通过模拟晶圆制造厂生产环境，配置必需的研发测试仪器设备结合自制的多种工艺设备，打造集成电路设备研发和工艺测试平台。工艺测试试验线完成建设后，可完善公司研发测试环节的产业布局，提升研发测试能力，为公司产品从研发到定型提供更加完善的测试配套服务。谢谢！

2024-04-17 17:02:00