网友提问 :您好,公司90-130nm晶圆级封装光刻机目前是否有订单,年产率为多少台,该光刻机是否可用于芯片掩膜板领域

2023-09-27 15:28:02

芯碁微装 (688630): 回答:尊敬的投资者您好!公司130-90nm制版光刻设备,能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%,产能120min/片。2023年公司已完成了 90nm技术节点制版应用的研发,首台设备即将交付客户验证,感谢关注!

2023-09-27 15:28:02

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芯碁微装
法定名称:
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
公司简介:
2015年6月30日,公司前身合肥芯碁微电子装备有限公司成立。
经营范围:
主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务,产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。
注册地址
安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
办公地址
安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼

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