网友提问 :您好,公司90-130nm晶圆级封装光刻机目前是否有订单,年产率为多少台,该光刻机是否可用于芯片掩膜板领域
2023-09-27 15:28:02
芯碁微装 (688630): 回答:尊敬的投资者您好!公司130-90nm制版光刻设备,能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%,产能120min/片。2023年公司已完成了 90nm技术节点制版应用的研发,首台设备即将交付客户验证,感谢关注!
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